一、分子式：Si(C2H5O)4
二、分子量：208.33
三、理化性质
无色透明液体，熔点－77℃，沸点169℃，密度0.9346g/mL。它对空气较稳定；微溶于水，在纯水中水解缓慢；在酸或碱的存在下能加速水解作用。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积（CVD）制程，用于生成二氧化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的电子化学品。是硅烷及其他易燃硅源的替代品。
五、质量指标
分析项目
技术指标
技术指标
8N
9N
纯度，min
99.999999%
99.9999999%
主含量，min
99.99%
99.99%
硼，max
0.5 ppb
0.5 ppb
Cl-，max
0.5 ppm
0.05 ppm
水分，max
5 ppm
5 ppm
乙醇含量，max
3 ppm
3 ppm
颗粒数≥0.1µm，max
50 p/ml
50 p/ml
颗粒数≥0.2µm，max
30 p/ml
10 p/ml
颗粒数≥0.3µm，max
20 p/ml
7 p/ml
颗粒数≥0.5µm，max
10 p/ml
5 p/ml
颗粒数≥1.0µm，max
3 p/ml
1 p/ml
色度，max
10 APHA
10 APHA
六、包装
容器：不锈钢瓶
外包装：不锈钢箱柜
规格：2加仑、5加仑（19L）、10加仑、1.5L、3.0L、200L。